Referát: Litografické techniky
Skryť detaily | Obľúbený- Kvalita:48,5 %
- Typ:Referát
- Kategória:Prírodné vedy
- Podkategória:Fyzika
- Predmet:Aplikovaná fyzika
- Autor:bushatko
- Rozsah A4:2 strán
- Zobrazené:404 x
- Stiahnuté:0 x
- Veľkosť:0,1 MB
- Formát a prípona:MS Office Word (.doc)
- Jazyk:slovenský
- ID projektu:34735
- Posledna úprava:01.06.2010
V podstate, sú len dve techniky ktoré sa aktuálne používajú na kreslenie vzoriek na zariadenia (devices), a to fotolitografia a priame zapisovanie pomocou elektrónového lúča. Existujú aj iné neoptické procedúry, najmä röntgenová litografia, ktorá sa používa na mikroobrábanie mikroštruktúr s vysokým pomerom strán. Fotolitografia sa koná pri exponovaní odporovej vrstvy pomocou UV svetla cez masku. Obyčajne, maska je umiestnená v tesnej blízkosti k doštičke pre zarovnanie.
Kľúčové slová: