Pod pojmom difúzia rozumieme premiestnenie atómov v kryš¬talickej materiále na vzdialenosť väčšiu ako je stredná medziato¬mová vzdialenosť. Ak premiestňovanie atómov nie je sprevádzané zmenou koncentrácie atómov v jednotlivých objemoch,tento proces sa nazýva samodifúzia. Premiestňovanie atómov dopre¬vádzané zmenou koncentrácie je charakteristické u tepelných procesov v kovoch a zliatinách so zvýšeným obsahom prímesí a nazýva sa difúzia alebo heterodifúzia.
Rýchlosť difúzneho procesu je určovaná množstvom hmoty m , difundujúcej cez jednotku plochy povrchu rozhrania, za jednotku času.